蝕刻矽電極、聚焦環

蝕刻矽電極、聚焦環

代理世界最大蝕刻矽零件供應商







CEL ,OUTER(TE)


 Equipment       TEL TE Etcher
OEM Part No.  3D10-202375-12
Material            Poly Silicon
Resistivity        1~20Ω.cm
Dimenson         Ф379.9 × 14.2T









FOCUS RING


 Equipment       TEL SHIN Etcher
OEM Part No.  3D10-250318-11
Material            Single Crystal Silicon
Resistivity        1~10Ω.cm
Dimenson         Ф360 × 3.5T
















RING Protection(TE-RP470)


 Equipment       TEL SHIN Etcher
OEM Part No.  3D10-350067-1
Material            Poly Silicon
Resistivity        1~20Ω.cm
Dimenson         Ф470 × 10T









One Piece Shield Ring


 Equipment       VARIAN Ion Implant
OEM Part No.  E17408290,etc.
Material           Single Crystal Silicon
Resistivity        <0.1Ω.cm
Dimenson         Ф392.7 × 6.7T
















Electrode,Upper(LD-777)


 Equipment       TEL LLDX Etcher
OEM Part No.  1810-121988-11
Material            Single Crystal Silicon
Resistivity        75±15Ω.cm
Dimenson         Ф320 × 10T
Gas Hole           Ф0.5 × 777EA









CEL,OX T10-75-C912 (COC-N)


 Equipment       TEL SE Etcher
OEM Part No.  3D10-302020-11
Material           Single Crystal Silicon
Resistivity        75±15Ω.cm
Dimenson         Ф376 × 10T
Gas Hole           Ф0.5 × 912EA
















CEL ,INNER(TE-T10-P-LABY)


Equipment       TEL TE Etcher
OEM Part No.  3D10-202364-12
Material           Single Crystal Silicon
Resistivity       75±15Ω.cm
Dimenson         Ф311 × 10T
Gas Hole           Ф0.5 × 738EA









(SI-SHIN)CEL INNER (SH-OX1.76)


 Equipment       TEL SHIN Etcher
OEM Part No.  3D10-250316-21
Material           Single Crystal Silicon
Resistivity        75±15Ω.cm
Dimenson         Ф311 × 10T
Gas Hole           Ф0.5 × 1283EA