加熱器

 


 ASM Eagle-10
8” PECVD
CIP type


 







 


NVLS Vector
12” PECVD
Standard type


 







 


Novellus
8” PECVD
CIP type


 









 


NVLS C3 Altus
12” WCVD
Standard type


 

 







 


ASM Eagle-10
8” PECVD
Standard type


 

 







 


NVLS Altus
8” WCVD
CIP type


 

 









 


AMAT WxZ 
8” WCVD
CIP type


 




 

 







 


AMAT WxZ CPR
6” WCVD
CIP type


 

 

 







 

 


AMAT TxZ
8” MOCVD
CIP type


 




 

 









 

 


AMAT DxZ
8” PECVD
CIP type


 

 







 

 


 AMAT EPI
8” 12” Susceptor
CIP type


 




 

 







 

 


AMAT 高溫DxZ
8” PECVD
CIP type