全部產品介紹

特殊氣體





DCS(二氯矽烷)





TCS(三氯矽甲烷)





STC(四氯化矽)





HBr(溴化氫)



 


 












WF6(六氟化鎢)





N2O(一氧化二氮)





BCl3(三氯化硼)





GeH4/H2(四氫化鍺)



 


 












C2F6(六氟乙烷)





C3F8(八氟丙烷)





C4F8(八氟環丁烷)





NF3(三氟化氮)



 


 

Alpha-terpinene (ATRP)

Purity >7N5

CVD Low k 薄膜 

Logic, Memory (DRAM, NAND, 3D NAND)







Diethoxymethylsilane (DEMS)

Purity >8N

CVD Low k 薄膜, 矽介電層

Logic, Memory (DRAM, NAND, 3D NAND)

 


 ASM Eagle-10
8” PECVD
CIP type


 







 


NVLS Vector
12” PECVD
Standard type


 







 


Novellus
8” PECVD
CIP type


 









 


NVLS C3 Altus
12” WCVD
Standard type


 

 







 


ASM Eagle-10
8” PECVD
Standard type


 

 







 


NVLS Altus
8” WCVD
CIP type


 

 









 


AMAT WxZ 
8” WCVD
CIP type


 




 

 







 


AMAT WxZ CPR
6” WCVD
CIP type


 

 

 







 

 


AMAT TxZ
8” MOCVD
CIP type


 




 

 









 

 


AMAT DxZ
8” PECVD
CIP type


 

 







 

 


 AMAT EPI
8” 12” Susceptor
CIP type


 




 

 







 

 


AMAT 高溫DxZ
8” PECVD
CIP type


 

 

Gasket _LAM 






Gasket FLEX















Gasket EL















Gasket FL















Gasket GL














Gasket _AMAT











DPS Series





CENTURA





ENABLER Series





ZON



 


 






Gasket _TEL











VIGUS Series





VIGUS





VESTA





SHIN Series



 


 






STUD SOCKET_LAM







FLEX Series







EL Series







FL Series

蝕刻矽電極、聚焦環

代理世界最大蝕刻矽零件供應商







CEL ,OUTER(TE)


 Equipment       TEL TE Etcher
OEM Part No.  3D10-202375-12
Material            Poly Silicon
Resistivity        1~20Ω.cm
Dimenson         Ф379.9 × 14.2T









FOCUS RING


 Equipment       TEL SHIN Etcher
OEM Part No.  3D10-250318-11
Material            Single Crystal Silicon
Resistivity        1~10Ω.cm
Dimenson         Ф360 × 3.5T
















RING Protection(TE-RP470)


 Equipment       TEL SHIN Etcher
OEM Part No.  3D10-350067-1
Material            Poly Silicon
Resistivity        1~20Ω.cm
Dimenson         Ф470 × 10T









One Piece Shield Ring


 Equipment       VARIAN Ion Implant
OEM Part No.  E17408290,etc.
Material           Single Crystal Silicon
Resistivity        <0.1Ω.cm
Dimenson         Ф392.7 × 6.7T
















Electrode,Upper(LD-777)


 Equipment       TEL LLDX Etcher
OEM Part No.  1810-121988-11
Material            Single Crystal Silicon
Resistivity        75±15Ω.cm
Dimenson         Ф320 × 10T
Gas Hole           Ф0.5 × 777EA









CEL,OX T10-75-C912 (COC-N)


 Equipment       TEL SE Etcher
OEM Part No.  3D10-302020-11
Material           Single Crystal Silicon
Resistivity        75±15Ω.cm
Dimenson         Ф376 × 10T
Gas Hole           Ф0.5 × 912EA
















CEL ,INNER(TE-T10-P-LABY)


Equipment       TEL TE Etcher
OEM Part No.  3D10-202364-12
Material           Single Crystal Silicon
Resistivity       75±15Ω.cm
Dimenson         Ф311 × 10T
Gas Hole           Ф0.5 × 738EA









(SI-SHIN)CEL INNER (SH-OX1.76)


 Equipment       TEL SHIN Etcher
OEM Part No.  3D10-250316-21
Material           Single Crystal Silicon
Resistivity        75±15Ω.cm
Dimenson         Ф311 × 10T
Gas Hole           Ф0.5 × 1283EA

8” Al-0.5%Cu target





8” Ti target
 





8” Co target
 







8”  Cu target





8” Ta target





12” Ti target







12”  CuAl/CuMn target





12” Ta target





12” NiPt 5at%(10at%)

OREILKON 200mm AlCu





NEXX 300mm Cu
 





NEXX 200mm WTi
 







SPTS 200mm AlCu





SPTS 200mm Ag





SPTS200mm Cu







Naura  300mm Cu  





Naura 300mm Ti 




 

Producer e

0010-24774
0040-53718
0040-81673





DPSII


0040-33215
0010-30277


 







e-Max CT+


0010-16392
0010-11216






DPS G2、G2、OPUS


0190-23942

6000-06083


 







Enabler E2

0010-27784
0010-23833








DPS G3、G3


0190-25087

0190-29754





 







 







Enabler E5

0010-33416
0010-43366





MESA 、G5Minos、G3.9


0010-37176

0010-47763