前驅體

  1. 前驅體
precursor

precursor

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詳細介紹
 

Alpha-terpinene (ATRP)

Purity >7N5

CVD Low k 薄膜 

Logic, Memory (DRAM, NAND, 3D NAND)

 

Diethoxymethylsilane (DEMS)

Purity >8N

CVD Low k 薄膜, 矽介電層

Logic, Memory (DRAM, NAND, 3D NAND)

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