特殊氣體

  1. 特殊氣體
特殊氣體

特殊氣體

半導體廠的各製程所需使用的特氣
特殊氣體
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詳細介紹

特殊氣體

 

  • DCS(二氯矽烷)

 

  • TCS(三氯矽甲烷)

 

  • STC(四氯化矽)

 

  • HBr(溴化氫)

 
 

 

  • WF6(六氟化鎢)

 

  • N2O(一氧化二氮)

 

  • BCl3(三氯化硼)

 

  • GeH4/H2
    (四氫化鍺)

 
 

 

  • C2F6(六氟乙烷)

 

  • C3F8(八氟丙烷)

 

  • C4F8(八氟環丁烷)

 

  • NF3(三氟化氮)

 
 
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