服務項目
- 電子級特殊氣體
- 電子級前驅體 Precursor
- 薄膜PVD Cu, CuMn, CuAl, Ti, Ta, Co, Al, AlCu, W, Ni, Cr, Au, Ag, Pt, Ru, AlSc.. 各式靶材
- CMP 再生晶圓研磨液 (Slurry)
- CMP 鑽石碟 (Diamond Disk)
- 蝕刻Si、Quartz、SiC、Y2O3、YAG各種電極、聚焦環等耗材
- 蝕刻、薄膜 ESC 新品及維修
- 蝕刻 PI、Teflon、Graphite 應用特殊墊片 (Gasket) 及工件開發
- 薄膜 CVD陽極 Shower Head、Top Plate 新品
- 薄膜 CVD、PVD 金屬加熱器 (Metal Heater) 新品及維修
- 面板及靶材高阻隔包裝 (友崴TOP-A透明阻隔膜面板市佔>7成)